Tento Standardní referenční materiál (SRM) je primárně určen pro kalibraci hloubkových stupnic a míry eroze při analýze povrchu pomocí rastrovacího odpařování. Jeho periodická struktura, skládající se ze sedmi jasně definovaných mezních ploch kov/kov, lze použít pro získání přesné kalibrace na několika hloubkách. SRM 2135c je certifikován pro celkovou tloušťku chromu (Cr) a niklu (Ni), jednotlivou jednotkovou vrstvu, rovnoměrnost vrstev mezi jednotlivými vrstvami, rovnoměrnost dvouvrstvých vrstev Ni a Cr (periodicitu) a tloušťku jednotlivé vrstvy. Jedna jednotka SRM 2135c se skládá z devíti střídavých tenkých kovových vrstev, pět vrstev čistého chromu a čtyři vrstvy čistého niklu, na leštěném substrátu křemíku (100). Jednotlivé vrstvy mají tloušťky, které jsou nominálně 57 nm pro Cr a 56 nm pro Ni. Plocha vzorku, která je certifikována, je určena šířkou substrátu (1,0 cm) a délkou 2,0 cm, která je umístěna uprostřed substrátu o délce 2,54 cm.
