Reference materials :: Other Producers Reference Materials :: Standardní referenční materiály NIST :: Phosphorus Implant in Silicon Depth Profile Standard

Description

Standard pro hloubkový profil implantace fosforu do křemíku

Product Code:

SRM2133

Availability:

Availability upon request

− +

Description

Typ:	CRM
Výrobce:	NIST

Tento Standardní referenční materiál (SRM) je určen k použití pro kalibraci sekundární iontové odezvy na nízké a stopové množství fosforu v křemíkové matrici pomocí analytické techniky hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). SRM 2133 slouží k provedení kalibrace odezvy SIMS přístroje na fosfor v křemíkové matrici za určitých instrumentálních podmínek. Také může být použit laboratoří jako referenční standard pro kalibraci pracovních standardů fosforu v křemíku. Tento SRM se skládá z jednoho krystalového křemíkového substrátu o rozměru 1 cm × 1 cm, který byl iontově implantován izotopem 31P při nominální energii 100 keV.

Didn't find the document you were looking for?

Continue here